Tiknoolajiyada tuubbooyinka gaaska saafiga ah waa qayb muhiim ah oo ka mid ah nidaamka sahayda gaaska saafiga ah, taas oo ah tignoolajiyada muhiimka ah si loo gaarsiiyo gaaska saafiga ah ee loo baahan yahay ilaa barta isticmaalka oo wali la ilaaliyo tayada tayada leh;Tiknoolajiyada tuubooyinka gaaska ee nadiifka ah ee sarreeya waxaa ka mid ah naqshadaynta saxda ah ee nidaamka, xulashada qalabka iyo qalabka, dhismaha iyo rakibidda, iyo tijaabinta.Sanadihii la soo dhaafay, shuruudaha sii kordheysa ee adag ee ku saabsan nadaafadda iyo waxyaalaha nijaasta ah ee gaasaska saafiga ah ee wax soo saarka alaabada microelectronics oo ay matalaan wareegyada isku dhafan ee ballaaran ayaa sameeyay tignoolajiyada tuubooyinka gaasaska saafiga ah oo sii kordhaya walaac iyo xoojinta.Kuwa soo socdaa waa dulmar kooban oo ku saabsan dhuumaha gaaska saafiga ah ee sarreeya ee xulashada walxahaof dhismaha, iyo sidoo kale aqbalida iyo maamulka maalinlaha ah.
Noocyada gaasaska caadiga ah
Kala soocida gaaska caadiga ah ee warshadaha elektiroonigga ah：
Gaasaska caadiga ah(Gaaska badan): hydrogen (H2), nitrogen (N2), ogsijiin (O2), argon (A2), iwm.
Gaasas khaas ahwaa SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… iwm.
Noocyada gaasaska gaarka ah waxaa guud ahaan loo kala saari karaa inay yihiin kuwo daxalaystaygaas, sun ahgaas, guban karagaas, guban karagaas, aan caqli-gal ahayngaasiwm
(i) Wax daxalaysa / sun ahgaas: HCl , BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3… iwm.
(ii) Dabacsanaangaas: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO… iwm.
(iii) gubashogaas: O2, Cl2, N2O, NF3… iwm.
(iv) Inertgaas: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He...iwm.
Qaar badan oo gaasas semiconductor ah ayaa waxyeello u leh jidhka bini'aadamka.Gaar ahaan, qaar ka mid ah gaasaskan, sida SiH4 gubashada kediska ah, ilaa inta dheecaanku uu si xun uga falcelinayo ogsijiinta hawada oo uu bilaabo inuu gubo;iyo ASH3aad u sun ah, wax yar oo ka daadanaya waxay keeni kartaa khatarta nolosha bini'aadamka, sababtoo ah khatarahaas muuqda, markaa shuruudaha badbaadada nidaamka naqshadeynta ayaa si gaar ah u sarreeya.
Baaxadda codsiga gaasaska
Sida alaabta ceeriin ee muhiimka ah ee warshadaha casriga ah, alaabta gaaska ayaa si ballaaran loo isticmaalaa, iyo tiro badan oo gaas caadi ah ama gaas gaar ah ayaa loo isticmaalaa birta, birta, batroolka, warshadaha kiimikada, mishiinada, elektiroonigga, galaaska, ceramics, qalabka dhismaha, dhismaha , habaynta cuntada, daawooyinka iyo qaybaha caafimaadka.Codsiga gaaska ayaa saameyn muhiim ah ku leh tignoolajiyada sare ee meelahan gaar ahaan, waana gaaska alaabta ceeriin ee lama huraanka ah ama gaasta habka.Kaliya baahida iyo kor u qaadida qaybaha kala duwan ee warshadaha cusub iyo sayniska iyo teknoolajiyada casriga ah, wax soo saarka warshadaha gaaska waxaa lagu horumarin karaa boodboodka iyo xuduudaha ee kala duwan, tayada iyo tirada.
Codsiga gaaska ee microelectronics iyo warshadaha semiconductor
Isticmaalka gaaska ayaa had iyo jeer door muhiim ah ka ciyaaray habka semiconductor, gaar ahaan habka semiconductor-ka ayaa si weyn loogu isticmaalay warshado kala duwan, laga bilaabo ULSI-dhaqameedka, TFT-LCD ilaa warshadaha micro-electro-mechanical (MEMS) ee hadda jira, dhammaan kuwaas oo u isticmaala waxa loogu yeero habka semiconductor sida habka wax soo saarka ee alaabta.Nadiifnimada gaasku waxay saameyn weyn ku leedahay waxqabadka qaybaha iyo wax-soo-saarka badeecada, iyo badbaadada sahayda gaaska waxay la xiriirtaa caafimaadka shaqaalaha iyo badbaadada hawlaha dhirta.
Muhiimada tuubooyinka nadiifka sare ee gaadiidka gaasta saafiga ah
Inta lagu jiro habka dhalaalidda birta aan fiicnayn iyo samaynta walxaha, qiyaastii 200g oo gaas ah ayaa la nuugi karaa halkii tan.Ka dib markii la farsameeyo ee birta ahama, ma aha oo kaliya ay dusha dhegdheg leh wasakh kala duwan, laakiin sidoo kale in shabaggeedii biraha ay sidoo kale nuugo xaddi gaar ah oo gaas ah.Marka ay jirto hawo dhex socota dhuumaha, birta ayaa nuugta qaybtan gaasta waxay dib u soo geli doontaa hawada, wasakhaynaysaa gaaska saafiga ah.Marka socodka hawada ee tuubada uu joogsado socodka, tuubada ayaa cadaadis ku saarta gaaska, marka hawadu istaagto gudbinta, gaaska ay tuubada ku xayaysiisay waxay samaysaa dhibco cadaadis ah si loo xaliyo wasakh ahaan.Isla mar ahaantaana, xajinta iyo xallinta ayaa soo noqnoqda, si birta gudaha gudaha ee tuubada ay sidoo kale soo saarto qadar budo ah, iyo walxaha boodhka ah ee birta ah waxay sidoo kale wasakheeyaan gaasta saafiga ah ee gudaha tuubada.Dabeecaddan tuubada ayaa lagama maarmaan u ah in la hubiyo nadiifinta gaaska la raro, taas oo u baahan ma aha oo kaliya jilicsanaan aad u sarreeya oo gudaha gudaha ah ee tuubada, laakiin sidoo kale iska caabin heer sare ah.
Marka gaaska leh waxqabadka daxalka xooggan la isticmaalo, tuubooyinka birta aan daxalka lahayn ee u adkaysta daxalka waa in loo adeegsadaa tuubooyinka.Haddii kale, dhuumaha ayaa soo saari doona dhibco daxalka ah oo ku yaala gudaha gudaha sababtoo ah daxalka, iyo xaaladaha halista ah, waxaa jiri doona aag weyn oo birta ah oo la gooyo ama xitaa daloolin, taas oo wasakhaynaysa gaaska saafiga ah ee loo qaybiyo.
Isku xirka nadiifinta sare iyo nadiifinta sare ee gudbinta gaaska iyo dhuumaha qaybinta ee heerarka socodka ballaaran.
Mabda 'ahaan, dhamaantood waa alxanka, tuubooyinka loo isticmaalo waxaa looga baahan yahay in aysan wax isbeddel ah ku yeelan ururka marka alxanka la isticmaalo.Walxaha leh kaarboonka aadka u sarreeya waxay ku xiran yihiin hawada hawada ee qaybaha alxanka ah marka la alxanayo, taas oo ka dhigaysa dhexgalka gaasaska gudaha iyo dibadda tuubada oo burburisa nadiifnimada, qallayl iyo nadaafadda gaaska la kala qaado, taasoo keentay luminta dadaalkeena oo dhan.
Marka la soo koobo, gaaska saafiga ah iyo dhuumaha gudbinta gaasta gaarka ah, waxaa lagama maarmaan ah in la isticmaalo daaweyn gaar ah oo ah tuubada birta aan nadiifka ahayn ee nadiifka ah, si loo sameeyo nidaamka dhuumaha nadiifka ah (oo ay ku jiraan tuubooyinka, qalabka, valves, VMB, VMP) Qaybinta gaaska saafiga ah ee sarreeya waxay haysaa hawl muhiim ah.
Fikradda guud ee tignoolajiyada nadiifka ah ee dhuumaha gudbinta iyo qaybinta
Gudbinta gaaska nadiifka ah ee nadiifka ah ee aadka u nadiifka ah ee leh tuubooyinka waxay ka dhigan tahay inay jiraan shuruudo ama kontaroolo gaar ah oo loogu talagalay saddex arrimood oo gaasta ah in la qaado.
Nadiifadda gaaska: Waxa ku jira jawiga wasakhaysan ee gGas-nadiifinta: Waxa ku jira jawiga wasakhaysan ee gaaska, sida caadiga ah waxa lagu muujiyaa boqolkiiba saafiga gaasta, sida 99.9999%, waxa kale oo lagu muujiyaa saamiga mugga hawada wasakhaysan ppm, ppb, ppt.
Qallayl: qadarka qoyaanka raadraaca ee gaaska, ama qadarka loo yaqaan qoyaanka, oo badanaa lagu muujiyo marka la eego barta sayaxa, sida barta cadaadiska atmospheric -70.C.
Nadaafadda: tirada walxaha wasakhaysan ee ku jira gaaska, cabbirka qayb ee µm, meeqa qaybood/M3 si loo muujiyo, hawo ciriiri ah, sida caadiga ah sidoo kale waxaa lagu muujiyaa inta mg/m3 ee haraaga adag ee aan laga fursan karin, kaas oo daboolaya nuxurka saliidda. .
Kala soocidda cabbirka wasakhaysan: Qaybaha wasakhaysan, inta badan waxa ay tilmaamayaan tuubada tuubada, xidhashada, daxalka ay ka dhashaan walxaha birta ah, qaybaha danbaska atmospheric, iyo sidoo kale noolaha, fayrasyada iyo dhibcaha uumiga gaaska qoyaanka ku jira, iwm, marka loo eego cabbirka cabbirka qaybtiisa waxa loo qaybiyaa
a) Qaybaha waaweyn - cabbirka walxaha ka sarreeya 5μm
b) Qayb - dhexroor walxaha u dhexeeya 0.1μm-5μm
c) Qaybaha ultra-micro-xajmiga qayb ka yar 0.1μm.
Si kor loogu qaado adeegsiga tignoolajiyadan, si loo awoodo in la fahmo fahamka cabbirka walxaha iyo unugyada μm, set oo ah heerka qayb gaar ah ayaa la bixiyaa si loo tixraaco.
Kuwa soo socdaa waa isbarbardhigga qaybo gaar ah
| Magaca / cabbirka qaybta (µm) | Magaca / cabbirka qaybta (µm) | Magaca/ cabbirka qaybta (µm) |
| Fayraska 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Aerosolized microdroplet 1-12 |
| Shidaalka Nukliyeerka 0.01-0.1 | Rinjiga 0.1-6 | Dambaska duulista 1-200 |
| Kaarboon madow 0.01-0.3 | Budada caanaha 0.1-10 | Sunta cayayaanka 5-10 |
| Resin 0.01-1 | Bakteeriyada 0.3-30 | Boodhka sibidhka 5-100 |
| Qiiqa sigaarka 0.01-1 | Ciid ciid 0.5-5 | Manka 10-15 |
| Silikoon 0.02-0.1 | Sunta cayayaanka 0.5-10 | Timaha dadka 50-120 |
| cusbo cusbo ah 0.03-0.5 | Boodh baaruud ah oo la ururiyey 1-11 | Ciid badeed 100-1200 |
Waqtiga boostada: Jun-14-2022